
客户需求:晶圆切割后微观缺陷检测工位,搭载高分辨率显微相机,需高速处理 4K 显微图像,识别划痕、颗粒、崩边;运行深度学习分类模型;洁净车间限制风冷设备吹风扬尘,设备空间紧凑,需长期 7×24 小时运转。
IPC-603B1-C939 落地方案
- 算力搭配:i9-14900 高性能多核处理器 + RTX5060 显卡,并行处理 10 路显微相机图像,本地完成晶圆缺陷分类、尺寸测量。
- 无粉尘适配:纯被动鳍片散热无风扇,无气流扬尘污染晶圆生产环境;全密封机箱结构防尘。
- 产线对接:多网口直连相机与车间 MES 系统,串口对接精密运动平台,检测数据实时上传生产管理系统。
IPC-603B1-C939 落地成效
1. 消除风扇扬尘带来的晶圆二次污染,产品良率提升 1.8%;
2. 单台设备检测效率对比传统工控提升 45%,单工位日均检测晶圆数量提升近万片;
3. 设备维护周期由每月延长至每季度,洁净车间运维成本大幅下降。